6月24日，苏州八匹马超导科技有限公司车间内机器轰鸣，企业与一家欧洲公司敲定了新一台半导体离子注入设备所用低温泵的出口意向。这一长期被海外巨头垄断的核心部件，如今由苏州企业实现反向出口。

一枚指甲盖大小的芯片，背后是一场关乎国家产业链安全的“真空战争”。半导体离子注入设备所用的低温泵，是比芯片本身更“卡脖子”的存在。该核心部件长期被海外品牌垄断，国产化率不足10%。没有它，先进制程的晶圆生产线便无法运转。

6年前，八匹马启动这一研发项目，从单机版起步，向高阶技术不断攀登，在近百道工艺流程中反复打磨——从研发样机、工程样机到产品样机，持续优化迭代。2024年，经过持之以恒的技术攻坚，团队研发出双变频智能多机型串联低温泵系统，一举攻克冷泵—压缩机双变频耦合调控、多机组串联气量精准分配、自研半导体设备兼容通信协议、超低温高精度恒温控制等四大核心技术。

与此同时，该系统首创双压缩机拖多台冷泵柔性组网方案，极限真空度可达10⁻⁷Pa，氮气、氢气抽速等核心指标全面超越行业国际主流进口产品；降温与再生效率显著提升，整机能耗降低20%—30%，振动干扰大幅减少。产品核心原材料国产化率高达95%，并已通过CE、SEMI权威认证。

近日，上海真空科技进步奖评选结果揭晓，八匹马凭借“应用于半导体离子注入的主动式双变频智能多型串并联低温泵系统研发及产业化”项目斩获二等奖，成为苏州科技创新取得的新突破。

“核心技术买不来、换不到、求不着，只有自主创新这一条‘捷径’。”公司负责人汤洪明表示，在全球化背景下，自主可控与核心安全是当前科技发展的重要议题。而加强自主研发，是企业锻造核心竞争力的必然选择。

目前，八匹马低温泵已批量供货国内多家头部半导体设备厂商，广泛应用于半导体PVD、离子注入、薄膜沉积、分子束外延等领域，可直接对标进口设备实现整机原位替换。项目落地以来，累计创造产值超千万元，大幅降低了国内制造企业的设备采购和后期维护保养成本。

立足过硬品质，八匹马已实现向日本、韩国、欧洲等多个国家和地区的产品出口，目前全系产品出口额超千万元。近几年来，企业销售额平均增长50%。（苏报融媒记者 朱新国 占长孙/文）

来源：引力播

编辑：罗宇凡

审读：高原

审核：徐立明

阅读全文