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来自苏州高新区太湖科学城功能片区的消息,辖区企业北京中科科仪股份有限公司(以下简称中科科仪)在长三角布局的最大产业化基地——中科科仪高端仪器装备产业园,即苏州中科科仪技术发展有限公司(以下简称苏州科仪),上半年业绩保持高速增长,产能较年初大幅提升,未来年产能将突破万台。
近日,记者走进苏州科仪展厅,一排磁悬浮分子泵整齐列阵,企业总经理助理佟鹏指着展台上大小不一的设备介绍:“小的这台转速一分钟九万转,大的这台一分钟三万转。”
磁悬浮分子泵被称为半导体设备的“心脏部件”,光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积等芯片制造的核心工序,都要靠它制造真空环境才能完成。但以往,这项关键技术一直被国外所垄断。
如今,这个“心脏部件”已实现中国造。作为科技部重大仪器设备专项“磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化”项目的承担单位,中科科仪成功研制出我国第一台具有完全自主知识产权的磁悬浮分子泵,一举打破国外长期的技术封锁与市场垄断,填补了国内高端真空获得设备领域的空白。
这一突破,历经七年深耕。中科科仪高端仪器装备产业园项目总投资10亿元、占地50亩,是2023年江苏省重点推进的重大产业项目。时间轴记录着项目的推进节奏:2019年设立苏州全资子公司,开启长三角产业化布局;2022年正式开工;2023年入选省重大项目清单;2025年10月全面竣工投产,集团规模化、产业化核心基地正式落地苏州。
落户苏州高新区太湖科学城功能片区以来,该项目持续攻克核心技术壁垒、完善自主可控供应链、加速产能释放,在高端真空装备国产替代赛道上跑出了加速度。
凭借“性能对标进口、服务远超进口”的优势,企业产品已进入北方华创、中微半导体等国内半导体头部企业供应链,有效缓解了海外设备供应不稳、交付周期长等行业痛点。新厂房投用后,自动化产线效能尽显:单月产量较旧厂房提升150%,产能、良品率、人效实现三重跃升。
企业快速发展的背后,是营商环境的沃土。2019年选址阶段,企业曾同步考察成都、深圳等地,最终因区位优势、供应链体系和人才储备花落苏州。落地过程中,苏州高新区全程靠前服务:临时办公场地、住宿保障、过渡厂房一应俱全;7000余平方米周转厂房,让企业在厂区建设期间就能提前试制、承接订单,实现“边建设、边生产”。目前,企业约九成物料本地采购,“供应商大部分都在2小时车程内。”佟鹏说。
产业化提速的同时,苏州基地的人才队伍也在同步壮大。面对高端科学仪器装备行业人才供给不足的现实痛点,苏州科仪落实人才强企战略,坚持外部引才与内部育才并举,依托母公司60余年技术积淀、长三角产业区位、重大产业化项目,构建“引、育、用、留”全链条人才工作体系。吸纳东南大学、苏州大学等本省高校人才,推行一对一导师制与职级梯队体系,新员工仅4个月系统培养即可独立作业。
面向未来,苏州科仪将紧扣国家战略需求,以半导体关键装备零部件国产化为主线,以“规模产业化”为核心,坚持“创新驱动、需求牵引、自主可控”为关键进行系统性布局。到2030年实现高端真空装备年产能超万台、营收规模突破10亿元,致力于成为一家在高端科学仪器装备与核心零部件领域国内领先、具有国际竞争力的隐形冠军企业。(苏报融媒记者 刘晓平/文)